近日，由同濟大學牽頭的項目“皮米精確度的直接溯源型納米幾何量標準物質關鍵技術及應用”榮獲2024年度中國計量測試學會科學技術進步獎一等獎。該項目提出了納米長度直接溯源至量子化光晶格常數的新路徑，建立了納米級正交角度直接溯源新理念，發明了晶圓級標準片制造和定值的嵌入式溯源新技術。

納米計量是集成電路等納米制造的準繩，是集成電路量測設備準確性、一致性、可比性的核心支撐。納米幾何量標準物質是納米計量體系中量值傳遞的“標準尺子”，“尺子”的準確性奠定了納米量值傳遞的質量基礎。與此同時，國際單位制變革為納米計量“量子化和扁平化”的創新發展帶來了新機遇。

據介紹，“皮米精確度的直接溯源型納米幾何量標準物質關鍵技術及應用”項目成果具有完全自主知識產權，已成功應用于國內外頂級計量機構，推動了納米計量技術進步和國家標準裝置能力提升。同時，項目應用于集成電路產業，支持了我國芯片制造良率的穩固提升和量檢測設備的自主創新；應用于高端儀器儀表企業，提升了納米計量的自主可控和產業鏈安全水平，“實現了用自己的尺子量自己的產品”。

在國家市場監督管理總局支持下，同濟大學牽頭籌建了國家集成電路微納檢測設備產業計量測試中心（上海），已成為我國集成電路納米計量測試領域的重要力量。此外，同濟大學在上海市教委支持下，設立了集成電路計量測試技術專項班和微專業，面向本科生和研究生教育，為集成電路產業建設計量測試人才梯隊，有力地支撐了我國集成電路等納米制造、納米測量產業的高質量發展。