近日，濟南市艾恩半導體科技有限公司（以下簡稱“艾恩半導體”）首款自主研發(fā)的硅基中束流離子注入機成功下線，這一突破為濟南高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)補鏈強鏈再添關(guān)鍵一環(huán)，進一步完善了芯片制造核心裝備的產(chǎn)業(yè)拼圖。

作為山東省集成電路產(chǎn)業(yè)重要集聚區(qū)，濟南高新區(qū)先后培育和引進了涵蓋芯片設(shè)計、芯片制造、封裝測試等半導體產(chǎn)業(yè)鏈的相關(guān)企業(yè)。離子注入機作為芯片制造關(guān)鍵裝備之一，成為濟南高新區(qū)招引的目標。該設(shè)備技術(shù)壁壘高，研發(fā)難度大、周期長，其工藝需精準控制離子注入的劑量、角度、均勻性等參數(shù)，精度要求達到納米級，被譽為芯片的“微型電工師”，海外企業(yè)長期占據(jù)該產(chǎn)品市場主導份額。

為完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條，補齊芯片制造設(shè)備關(guān)鍵短板，濟南高新區(qū)積極與原廣州市艾恩半導體科技有限公司開展對接。該企業(yè)聚焦離子注入機的研發(fā)生產(chǎn)，提供國產(chǎn)化替代及代工服務(wù)，是國內(nèi)重要的離子注入機設(shè)備研制企業(yè)之一。為推動項目落地，濟南高新區(qū)投資促進部聯(lián)合魯信創(chuàng)投集團、濟南財投基金集團、山東產(chǎn)研創(chuàng)業(yè)投資有限公司等投資機構(gòu)，出資參與該企業(yè)天使輪融資，為企業(yè)的前期發(fā)展注入了關(guān)鍵資金。依托山東產(chǎn)業(yè)配套優(yōu)勢，該企業(yè)離子注入機所需近2萬個零部件中，過半可在山東完成采購和加工，顯著降低供應(yīng)鏈風險。2024年底，廣州市艾恩半導體科技有限公司將總部從廣州遷至濟南高新區(qū)，正式更名為濟南市艾恩半導體科技有限公司。

項目一經(jīng)落地，濟南高新區(qū)積極組織企業(yè)參加濟南市創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽。憑借自身強大的技術(shù)實力和創(chuàng)新能力，艾恩半導體在大賽中脫穎而出并獲獎，更加堅定了在濟南高新區(qū)創(chuàng)業(yè)發(fā)展的決心，也深切感受到了濟南高新區(qū)對高新技術(shù)企業(yè)的高度重視和大力支持。

2025年4月，艾恩半導體在濟南高新區(qū)的研發(fā)與制造中心正式投產(chǎn)。該制造中心年產(chǎn)能達30臺，有效填補了山東省在高端半導體裝備制造領(lǐng)域的空白，為國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)鏈自主化注入了強勁動能。艾恩半導體自主研發(fā)的首臺碳化硅高溫離子注入機在客戶端測試效果超出預期，目前已進入小批量產(chǎn)階段。對標國際領(lǐng)先技術(shù)水平的第二代碳化硅離子注入機正在緊鑼密鼓地研發(fā)生產(chǎn)過程中，有望于今年9月面世。

未來，濟南高新區(qū)將充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)資源優(yōu)勢，協(xié)助解決艾恩半導體設(shè)備量產(chǎn)中的成本與交付難題，助力企業(yè)快速響應(yīng)客戶需求，為設(shè)備驗證與產(chǎn)品應(yīng)用提供廣闊的市場空間。同時聯(lián)合區(qū)內(nèi)集成電路重點企業(yè)及科研院所，開展前沿技術(shù)攻關(guān)，助力企業(yè)突破關(guān)鍵核心技術(shù)，全力推動濟南高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)補鏈延鏈強鏈。

（圖片來源：濟南高新區(qū)）