
這是9月25日拍攝的上海交通大學無錫光子芯片研究院。
上海交通大學無錫光子芯片研究院位于江蘇省無錫市蠡園經濟開發區,以高端光子芯片研發為核心,聚焦芯、光、智、算領域的成果轉化及創業孵化,具備從研發、小試到中試生產光子芯片的完整閉環工藝能力。研究院建成投用的光子芯片中試線,支持高性能光子芯片的自主研發和快速迭代。

這是在上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線接受檢測的芯片晶圓(9月25日攝)。

9月25日,工程師在上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線取片。

9月25日,工程師在上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線刻蝕間工作。

9月25日,工程師在上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線濕法間工作。

這是9月25日在上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線上拍攝的濕法工藝。

這是9月25日拍攝的上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線光刻間內的涂膠作業。

9月25日,工程師在上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線光刻間工作。

9月25日,工程師在上海交通大學無錫光子芯片研究院光子芯片中試線光刻間工作。
新華社記者 胡智軒 攝
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